Tetra-500-LF-PC-RTR等离子清洗/刻蚀机
外形尺寸:W600mm × H2100mm × D800mm
真空舱规格:W1500mm × H1700mm × D200mm
舱体容量:约 500升
处理气体:MFC 3气体通路
射频发生器:2×40kHz射频发生器,功率连续可调,自动匹配
卷轴:2卷轴系统
控制系统:计算机(PC)控制
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